盈德气体12.2亿元电子特气项目获备案

10月17日,绍兴盈德气体有限公司杭州湾上虞经济技术开发区高纯电子特气项目获备案。据悉,该项目总投资12.2亿元,新建一套15000Nm³/h空分装置;一套3000Nm³/h粗氪氙精制装置,一套40Nm³/h氖氦精制装置,一套2000Nm³/h超纯氧装置,一 套3840m³/年液氦分装装置,45吨/年电子级二氧化碳装置。